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金融界2024年12月19日消息，国家知识产权局信息显示，中山市思格自动化科技有限公司申请一项名为“一种高精度通用型固晶机”的专利，公开号CN 119133060 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种高精度通用型固晶机，包括基座，基座上设有可更换的基板治具、中空晶圆治具、固晶台和芯片中转台，基板治具和中空晶圆治具在基座上左右分布，固晶台和芯片中转台在基座上也呈左右分布，固晶台位于基板治具后侧、芯片中转台位于中空晶圆治具后侧，基板治具能够沿X轴和Y轴平移用于放置基板中空晶圆治具能够沿X轴和Y轴平移用于放置带有芯片的晶圆，固晶台能够沿X轴和Y轴平移、绕Z轴转动用于承载基板和芯片进行固晶，芯片中转台能够沿X轴和Y轴平移、绕Z轴转动用于放置等待进行固晶处理的芯片，基座上设有用于在基板治具和固晶台之间转运基板的第一多维自适应纠偏转运装置，基座上设有用于在中空晶圆治具和芯片中转台之间转运芯片的第二多维自适应纠偏转运装置，基座上设有用于在芯片中转台和固晶台之间转运芯片的第三多维自适应纠偏转运装置。
本文源自：金融界
作者：情报员
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