北京
分享至
金融界2024年12月19日消息，国家知识产权局信息显示，温州核芯智存科技有限公司申请一项名为“一种铁电电容制备方法及其电容”的专利，公开号 CN 119136655 A，申请日期为 2023 年 9 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种铁电电容制备方法及其电容，包括于铁电电容制备中，对沉积于晶圆表面的结构层采用湿法刻蚀，利用刻蚀液粘度导致的液膜张力避免刻蚀液进入立体电容孔内，只刻蚀晶圆表面保留立体电容孔内膜层；所述沉积于晶圆表面的结构层为沉积于立体电容孔及晶圆表面的隔离层、下电极、高介电材料、上电极和板线。该铁电电容制备方法及其电容，通过采用湿刻工艺替代干刻，除降低制造成本外，还能减少电容薄膜损伤，缩短制程时间提高效率；同时利用与顶层电极类似的金属钛材料进行板线连接，合并湿刻步骤简化工序，避免了额外刻蚀步骤。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
