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金融界2024年12月25日消息，国家知识产权局信息显示，上海显耀显示科技有限公司取得一项名为“碎屑去除装置”的专利，授权公告号CN 222190773 U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，一种碎屑去除装置，涉及衬底剥离技术领域，包括：载台，用于承载固定待剥离晶圆组件；吹扫装置，用于朝向承载于所述载台上的所述待剥离晶圆组件进行吹扫。通过设置吹扫装置，利用吹扫装置将待剥离晶圆组件在剥离过程中产生的碎屑进行吹扫，防止碎屑对剥离后的器件结构造成影响，从而提高剥离后的器件结构良率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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