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金融界2024年12月27日消息，国家知识产权局信息显示，内蒙古中环领先半导体材料有限公司取得一项名为“一种单晶炉液位校准辅助装置”的专利，授权公告号 CN 222205555 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种单晶炉液位校准辅助装置，其包括：相机、液位基准杆和液位校准杆，所述液位基准杆设于导流筒与坩埚之间，用于指示所述坩埚中硅液的初始液位；在所述坩埚的升降过程中，所述液位校准杆在所述硅液中的倒影，为所述相机提供摄像基准点。本实用新型中的单晶炉液位校准辅助装置通过预先采集像素差与埚升比，得到坩埚升降比例系数，再在拉晶过程中监控液位校准杆至导流筒上固定点位的距离来辅助监控液位、调控液位，实现了硅液液位的精准调控，避免了常规监控液位方法因坩埚尺寸及硅液在其中位置位置不同而导致的误差，避免了因液面位置波动而产生的单晶缺陷，为先进制程奠定了基础。
本文源自：金融界
作者：情报员
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