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金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“半导体外延设备”的专利，授权公告号CN 222214127 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种半导体外延设备，包括工艺腔体、位置检测装置及储存室，工艺腔体内设置有托盘及环绕托盘的预热环；位置检测装置包括调节支架及位置检测器；设置有腔门的储存室为位置检测装置提供容置空间，通过位置检测器实现对托盘与预热环的相对位置的检测；本申请还提供另一种半导体外延设备，包括工艺腔体及位置检测器，工艺腔体内设置有托盘，位置检测器设置于所述工艺腔体内且位于托盘的下方，通过位置检测器实现对托盘的位置检测。本实用新型可实现对托盘与预热环间的间隙和/或水平度的检测，可解决偏边问题，有效控制产品风险率，提高产品良率，与此同时，在进行设备保养时可有效控制时效，为生产排货提供依据。
本文源自：金融界
作者：情报员
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