山东
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IT之家 3 月 25 日消息，据国际光电工程学会（SPIE）消息，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 nm 的相干光（Coherent Light），该波长目前被用于半导体曝光技术。
论文介绍称，深紫外相干光，尤其是 193 nm 波长的光，已成为半导体光刻不可或缺的部分。研究人员提出了一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统，能够在 6 kHz 的重复频率下产生 193 nm 相干光。
将自制 Yb:YAG 晶体放大器中的 1030 nm 激光的一部分通过四次谐波产生，生成 258 nm 激光（1.2 W），其余部分用于泵浦一个光学参量放大器，产生 1553 nm 激光（700 mW）。这些光束在级联LiB3O5晶体中的频率混合产生平均功率为 70 mW、线宽小于 880 兆赫的 193 nm 激光。通过在频率混合前将螺旋相位板引入 1553 nm 光束，我们生成了一个携带轨道角动量的涡旋光束。
IT之家从论文获悉，这是首次从固态激光中产生 193 nm 涡旋光束的演示。这种光束对于种子混合 ArF 准分子激光器非常有价值，并在晶圆加工和缺陷检测中具有潜在的应用。
IT之家附论文链接：
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