北京
金融界2025年3月26日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置及基板处理方法”的专利，公开号CN 119673810 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本申请公开了一种基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置包括：提供内部空间的壳体；设置在内部空间中并提供在其中进行基板的加热工艺的处理空间的加热单元；设置在内部空间中并用于在处理空间中装载或卸载基板的传送板；用于向处理空间供应气体的气体供应单元；以及用于控制气体供应单元的控制器，其中，气体供应单元包括：供应含湿气的加湿气体的加湿气体供应管线，其安装有第一阀；向处理空间供应干燥气体的干燥气体供应管线，其安装有第二阀；与加湿气体供应管线和干燥气体供应管线相连的主供应管线；以及安装在主供应管线中的第一加热器，该主供应管线具有安装第一加热器的第一区域以及位于第一区域的下游并且没有安装第一加热器的第二区域，并且控制器控制气体供应单元以执行控制第一加热器以加热第一区域并打开第二阀以用干燥气体加热第二区域的加热操作以及在加热操作之后打开第一阀并通过将加湿气体供应到处理空间来处理基板的基板处理操作。
本文源自：金融界
作者：情报员
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