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精度0.02nm,中国最牛芯片刻蚀机厂,实现重大技术突破

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按照全球最先进的三大晶圆厂台积电、三星、英特尔的计划,在2025年,大家的芯片技术要实现2纳米的水平,而到2027年时,可能会实现1.4nm。

而按照ASML的推测,未来,芯片技术还会持续前进,到2029年时是1nm,到2039年时会达到0.2nm。



而随着芯片技术的推进,各种相关设备的精度也会越来越高,因为2nm的芯片,要求一些制造设备的精度,也会达到2nm这个级别。

但是,夸张的来了,近日,在上海举办的Semicon大会上,中国芯片设备企业,实现了重大突破,其反应台之间的刻蚀精度已达到0.2A(亚埃级)。

什么是0.2A,英特尔的18A指的是1.8nm,所以这个0.2A指的是0.02nm。



这家企业就是中微半导体,中国最牛的,也是全球顶尖的刻蚀机厂商。

这次他们通过不断提升反应台之间气体控制的精度,所以实现了ICP双反应台刻蚀机Primo Twin-Star®的0.2A精度。

并且这一刻蚀精度在氧化硅、氮化硅和多晶硅等薄膜的刻蚀工艺上,均得到了验证,并不是PPT,或者说是理论,而是有了实际测试的。



中微半导体是尹志尧博士于2004年创办的,至今也就20来年的历史。

但由于尹志尧博士,在创办中微之前,一直在美国半导体企业工作,比如英特尔、泛林、应用材料等,有着丰富的经验积累,并且拥有众多的个人专利。

再加上他回归时,带了一大批在美国工作的华人半导体工程师回国,所以进步神速。



所以中微迅速的推出了刻蚀机,打破了美国在这一块的垄断,原来美国对刻蚀机是禁运的,后来中微研发出了先进的刻蚀机,美国就解除了禁令。

后来美国的应用材料发现中微这么厉害,还诬告中微侵犯了它们的专利,但后来应用材料输了官司,不得不承认中微的技术厉害。



如今中微已经给台积电、中芯等企业提供先进的刻蚀机,从这个0.2A就可以看出技术有多先进了。

不仅精度高,且按照尹志尧博士的说法,目前中微的刻蚀机已经实现100%的元件国产替代,不再需要进口,不用担心被谁卡脖子了,完全是自主可控的。

真希望其它国产半导体设备,都多向中微学习,如果都达到中微的精度和水平,那就完全不用担心所谓的禁令了,那真的就是废纸了。

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