金融界2025年4月2日消息,国家知识产权局信息显示,恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司申请一项名为“种晶圆取片过程中的自适应误差校正方法”的专利,公开号 CN 119742265 A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆取片过程中的自适应误差校正方法,利用相机模组实现晶圆取片过程中参数数据的采集操作,并利用吸片贴装模组实现对晶圆的取片操作,本发明涉及晶圆贴装技术领域。该晶圆取片过程中的自适应误差校正方法,通过接收采集的数据并进行初步处理,通过设备参数建立误差补偿模型,而后将处理后的数据引入至误差补偿模型进行分析操作,结合贴装模组的运行误差和相机模组受温度影响的定位误差,得出对贴装模组制动和相机焊头中心基准的调整结果数据,以此实现每次取片过程中的自适应误差校正调节操作,保障晶圆在取片过程中的完整性和准确性,使得取片操作能够在更短的时间内完成,提高了晶圆加工生产线的整体效率。
天眼查资料显示,恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司,成立于2016年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本4241.04万人民币,实缴资本590.31539万人民币。通过天眼查大数据分析,恩纳基智能装备(无锡)股份有限公司参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息53条,专利信息106条,此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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