金融界 2025 年 4 月 4 日消息,国家知识产权局信息显示,湖北鼎龙芯盛科技有限公司申请一项名为“鎓盐类化合物,光致产酸剂、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法”的专利,公开号 CN 119751407 A,申请日期为 2024 年 12 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种鎓盐类化合物,光致产酸剂、光致抗蚀剂组合物及图案形成方法,涉及光刻胶领域。本发明的鎓盐类化合物具有特定的结构通式:其中,R1、R2、R3、R4 各自独立的为杂原子取代或未取代的 C1~C20 脂肪链状烃基或环烷烃基的一种或多种组合。该种结构通式的鎓盐类化合物在有机溶剂中能完全可溶并可均匀分散,用作抗蚀剂组合物时可保证组合物的均一性。本发明的鎓盐类化合物作为光产酸剂用于抗蚀剂组合物时,其大位阻基团能够有效地降低酸扩散长度,提升光刻图案的 LWR 性能,而且鎓盐类化合物中的缩醛和酯基结构使得其自身容易分解,能最大程度的降低对于环境的影响。
天眼查资料显示,湖北鼎龙芯盛科技有限公司,成立于2023年,位于武汉市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,湖北鼎龙芯盛科技有限公司专利信息14条,此外企业还拥有行政许可1个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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