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京仪自动化申请温控系统等专利,调节温控系统中循环液的压力

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金融界2025年4月17日消息,国家知识产权局信息显示,北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“温控系统、压力调节方法以及半导体工艺制程系统”的专利,公开号 CN 119828793 A,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,本申请涉及一种温控系统、压力调节方法以及制程系统。该温控系统包括循环液供给单元、液泵、调温单元、压力调节单元、压力检测单元以及控制单元。液泵从循环液供给单元中抽出循环液。调温单元的调温输入端与液泵的输出端连接,以调节液泵所输出的循环液的温度。调温单元的调温输出端连接外部用液装置,以为外部用液装置提供调温后的循环液。压力调节单元将未使用的循环液循环输入至循环液供给单元。压力检测单元检测调温输出端处的循环液的压力,以输出系统压力数据。控制单元分别与压力检测单元、压力调节单元以及液泵电连接,根据所接收的系统压力数据,对压力调节单元的开度以及液泵的工作频率进行调控,以调节温控系统中的循环液的压力。

天眼查资料显示,北京京仪自动化装备技术股份有限公司,成立于2016年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本16800万人民币。通过天眼查大数据分析,北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目85次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息451条,此外企业还拥有行政许可12个。

本文源自:金融界

作者:情报员

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