北京
金融界2025年4月17日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“温控系统、压力调节方法以及半导体工艺制程系统”的专利，公开号 CN 119828793 A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本申请涉及一种温控系统、压力调节方法以及制程系统。该温控系统包括循环液供给单元、液泵、调温单元、压力调节单元、压力检测单元以及控制单元。液泵从循环液供给单元中抽出循环液。调温单元的调温输入端与液泵的输出端连接，以调节液泵所输出的循环液的温度。调温单元的调温输出端连接外部用液装置，以为外部用液装置提供调温后的循环液。压力调节单元将未使用的循环液循环输入至循环液供给单元。压力检测单元检测调温输出端处的循环液的压力，以输出系统压力数据。控制单元分别与压力检测单元、压力调节单元以及液泵电连接，根据所接收的系统压力数据，对压力调节单元的开度以及液泵的工作频率进行调控，以调节温控系统中的循环液的压力。
天眼查资料显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本16800万人民币。通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目85次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息451条，此外企业还拥有行政许可12个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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