北京
金融界2025年4月17日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“一种电子束流的调节方法、装置、设备、介质及产品”的专利，公开号CN 119833376 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种电子束流的调节方法、装置、设备、介质及产品，应用于集成电路技术领域。该方法先获取扫描电镜中聚光镜的原始激励电流值；然后基于激励电流值与电子束流值之间的第一对应关系，确定出原始电子束流值。进而基于原始电子束流值对扫描电镜进行调节，以使扫描电镜的电子束流值为目标电子束流值。本实现方式中在获取电子束流值时不再需要每次都通过法拉第杯进行测量，而是通过聚光镜的激励电流值与电子束流值的对应关系来直接估算，由于聚光镜的激励电流值获取方式简单，进而节省了对利用法拉第杯进行测量的操作时间，提高了获取电子束流值的效率。
天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目24次，财产线索方面有商标信息148条，专利信息272条，此外企业还拥有行政许可18个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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