金融界2025年4月19日消息,国家知识产权局信息显示,山西天成半导体材料有限公司申请一项名为“12391.一种碳化硅晶体生长炉及晶体生长方法”的专利,公开号CN119800509A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明提供一种碳化硅晶体生长炉及晶体生长方法,涉及碳化硅单晶领域。该碳化硅晶体生长炉包括真空加热腔体,所述真空加热腔体内设有用于提供加热热源的电阻加热器,所述真空加热腔体上设有抽气管路,还包括:坩埚组件、应力消除组件、集成移动机构、测温组件、控制监控模块,所述坩埚组件包括坩埚提拉杆,所述坩埚提拉杆的下端固定连接有坩埚盖,所述坩埚盖的下部可拆卸连接有坩埚,所述坩埚内设有碳化硅粉料,所述坩埚盖朝向碳化硅粉料的一侧面设有碳化硅籽晶。通过设置的集成移动机构、测温组件、应力消除组件、控制监控模块,获得理想的热场分布,使得晶体在稳态热场中均匀生长,获得低缺陷密度、低应力的高质量晶体。
天眼查资料显示,山西天成半导体材料有限公司,成立于2021年,位于太原市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1333.3333万人民币。通过天眼查大数据分析,山西天成半导体材料有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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