北京
金融界2025年4月22日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利，公开号CN119852214A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域，半导体工艺设备包括腔体、门体、进气管和阻挡组件，其中，门体可与腔体密封连接，且围成工艺腔，工艺腔用以容纳晶舟，进气管和阻挡组件均设置于腔体之内，且进气管的开口朝向门体；在腔体的轴向上，阻挡组件位于门体和进气管之间，阻挡组件包括多个阻挡板，多个阻挡板沿轴向间隔设置，且在垂直于腔体的轴向的平面内，各阻挡板的外缘的投影均覆盖晶舟的投影。上述半导体工艺设备可以解决目前的半导体工艺设备在通入气体的过程中，因气体流向炉门，导致炉门与炉体之间的密封圈极易失效，导致炉体的密封失效，影响工艺过程正常进行的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1018次，财产线索方面有商标信息45条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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