北京
金融界2025年4月23日消息，国家知识产权局信息显示，欧昊新能源电力（甘肃）有限责任公司取得一项名为“一种高寿命的改善薄膜均匀性的装置”的专利，授权公告号CN222781689U，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本实用新型一种高寿命的改善薄膜均匀性的装置，属于半导体加工设备技术领域，包括加工设备，加工设备下侧壁安装有调整组件，调整组件包括固定连接在加工设备下侧的电机，加工设备下侧内壁转动连接有齿杆，且电机的输出端与齿杆固定连接，齿杆上端转动连接有托板，托板与加工设备下侧壁之间固定连接有固定筒，固定筒上滑动连接有多个齿板，且多个齿板均与齿杆相啮合，本装置能够自动带动陶瓷片移动，使陶瓷片的圆心自动与放置好的硅片圆心对应，进而提高薄膜外围的沉积均匀性，同时通过改变，避免了陶瓷片受电击易碎，使用寿命短的问题，也避免了因膜厚不均匀导致效率离散性较大的问题。
天眼查资料显示，欧昊新能源电力（甘肃）有限责任公司，成立于2021年，位于酒泉市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析，欧昊新能源电力（甘肃）有限责任公司参与招投标项目15次，专利信息6条，此外企业还拥有行政许可18个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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